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天弘晶圓激光切割機產品特點:
1、劃片速度快,效率高,成片率高
2、非接觸式加工,無機械應力,提高芯片質量
3、CCD快速定位功能,實時同軸監視或旁軸監視功能
4、高精度二維直線運動平臺,高精度DD旋轉平臺
5、大理石基臺,穩定可靠,熱變形小
6、精密數控系統
7、全中文操作界面,操作直觀、簡易,界面良好
8、劃線工藝專家系統
9、高可靠性和穩定性
設備型號
TH-5212
TH-5221
TH-5210
激光類型
紅外IR
紫外UV
激光波長
1064nm
355nm
激光功率
20w/30w
5w/10w/17w
最大加工晶圓尺寸
5 inch(可兼容6inch)
4 inch
劃線速度
150mm/s、200mm/s
30mm/s、60mm/s、100mm/s
劃線線寬
35~45μm
40~50μm
20~30μm
劃線線深
< 120μm(視材料而定)
50 -120μm
50-100μm
系統定位精度
5μm
重復定位精度
2μm
激光器使用壽命
10萬小時
1.2萬小時
設備尺寸
960*730*1740mm
整機重量
660kg
晶圓激光切割機廣泛應用于集成電路晶圓、GPP二極管晶圓、GPP可控晶圓的劃線切割以及TVS晶圓的劃線切割。